?ESC系列平臺可被用于常溫和大氣壓環(huán)境，有些型號還可用于超高真空環(huán)境。?ESC系列平臺采用了十字交叉滾柱導軌結(jié)構(gòu)，其承載能力可高達數(shù)公斤，其俯仰，方位和轉(zhuǎn)動角度偏差小于0.1mrad。?同時，其最大行程可達50mm,單步進給量可小至50nm。另外，可選配的用于閉環(huán)控制的傳感器的分辨率達1nm。attocube系列平臺備有多種形式，尺寸和行程。并可直接互相組合成多軸平臺。
壓電陶瓷平臺
